电子束三维光刻技术的研究

• 作者: 孔祥东 尹明 张玉林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: IH 电子束 三维光刻 抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2804字
• 语种: 中文

摘要

在IH(Integrated Harden Polymer Stereo Lithogmphy)技术和电子束光刻技术的基础上提出了电子束微三维光刻技术新概念.对其实现方法的可行性进行了简要的理论分析,并使用SDV-Ⅱ型真空腔在约1.33 Pa的真空下对环氧618、WSJ-202和苏州2号抗蚀剂进行了气化试验,得出了它们在真空中的气化实验结果,证明了电子束液态光刻的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制学院电子束研究所	56	465	11.0	19.0
2	尹明	山东大学控制学院电子束研究所	15	74	4.0	8.0
3	孔祥东	山东大学控制学院电子束研究所	10	168	6.0	10.0