透明导电ZnO∶Al(ZAO)纳米薄膜的性能分析

• 作者: 孙超 徐成海 曹洪涛 裴志亮 闻立时 陆峰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZAO薄膜 X射线衍射 电阻率 透射率 反射率
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 9-11,15
• 页数: 4页
• 分类号: TG11.3|O484|TN304.31
• 字数: 1735字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.01.003

摘要

用直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜,对这种薄膜进行了XRD分析,并对其光、电性能作了详细的研究.结果表明:ZAO薄膜的结构为标准的ZnO纤锌矿相,没有Al2O3相出现;其最低电阻率为4.5×10-4 Ω*cm、可见光透射率在80%以上,红外波段的反射率达70%以上,是优质的透明导电膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐成海	东北大学机械工程与自动化学院	133	1297	21.0	27.0
2	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
3	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
4	陆峰	东北大学机械工程与自动化学院	9	192	7.0	9.0
6	裴志亮	中国科学院金属研究所	19	425	12.0	19.0
7	曹洪涛	中国科学院金属研究所	2	59	2.0	2.0