沟道刻蚀型a—SiTFT矩阵的制造工艺

• 作者: 王洪岩
• 来源期刊: 光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 沟道刻蚀型a-SiTFT矩阵 制造工艺 平板显示器件 TFT-LCD结构 成膜方法
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TN873.93

摘要

沟道刻蚀型a-SiTFT是TFT的一种。本文介绍了沟道刻蚀型a-SiTFT矩阵的结构和原理．重点介绍了它的制造工艺。

作者信息

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1	王洪岩		1	0	0.0	0.0