用于光纤通信网络的长波长Sige／Si多量子阱共振腔探测器（RCE—PD）研究

• 作者: 李成 王启明
• 来源期刊: 光纤通信
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤通信 SIGE/SI 共振腔 探测器 RCD-PD 多量子阱
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 24
• 页数: 1页
• 分类号: TN929.11

摘要

本文报导了响应波长在1.3μm的两种不同结构的Si0.65Ge0.36/Si多量子阱井振腔增强型的光电探测器。一种是直接在SIMOX的衬底上生长多量子阱结构，另一种是使用健合技术。两种器件的响应度分别为31ma/W和44MA/W。对应的吸收峰的半高宽分别为14nm和16nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启明	中科院半导体研究所	3	35	1.0	3.0
2	李成		2	0	0.0	0.0