调整磁场 提高靶材利用率

• 作者: 孟怡敏 郭明
• 来源期刊: 中国玻璃
• 关键词: 磁场 靶场 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 设计技改
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了磁场在磁控溅射工艺中的作用,根据美国Airco公司镀膜生产线使用、维护、研究经验,详细地论述了如何通过调整靶材磁场,提高靶材利用率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭明		16	11	2.0	3.0
2	孟怡敏		7	8	1.0	2.0