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摘要:
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 Measurement Method of the Thickness Uniformity for Polymer Films
来源期刊 半导体光子学与技术(英文版) 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2003,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 128-132
页数 5页 分类号 TN304.520.7
字数 语种 英文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体光子学与技术(英文版)
季刊
1007-0206
50-1093/TN
16开
重庆市
1995
eng
出版文献量(篇)
643
总下载数(次)
0
总被引数(次)
769
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导