电子轰击型PSD器件的研究与应用

• 作者: 姜德龙 富丽晨 李野 田景全 端木庆铎
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: PSD器件 电子轰击型器件 光子计数 极微弱光图像探测
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 51-53,59
• 页数: 4页
• 分类号: TN14
• 字数: 2323字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.02.013

摘要

首先介绍了新型半导体光电位敏器件(PSD)的独特优点.同时根据极微弱光探测的应用需求,提出了电子轰击型新概念器件EBPSD,研究了它的制作原理,并对已制出的器件进行了半导体增益测试,其结果是入射电子能量2 keV时增益大于102;5 keV时增益可达103,证实了这种器件的优越性.还将(EBPSD)器件和微通道板相结合,充分利用微通道板的高增益特性,提出了电子增益高达108的MCP-PSD管设计方案,并制出了样管,指出这种器件可用于低于10-7lx极微弱光图像的光子计数探测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田景全	长春理工大学光电子技术研究所	24	327	8.0	17.0
2	李野	长春理工大学光电子技术研究所	68	297	9.0	13.0
3	姜德龙	长春理工大学光电子技术研究所	25	153	6.0	10.0
4	端木庆铎	长春理工大学光电子技术研究所	56	241	8.0	12.0
5	富丽晨	长春理工大学光电子技术研究所	9	96	5.0	9.0