四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究

• 作者: 冯焱 张建军 张涤新 李得天
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 四极质谱计 离子源 灵敏度
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 203-207
• 页数: 5页
• 分类号: TB773
• 字数: 3715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.03.013

摘要

本文通过改变QMS422型四极质谱计离子源的发射电流、阴极电压和聚焦电压等参数值,测量了质谱计灵敏度的相应变化,给出并分析了实验结果.实验结果表明,对质谱计离子源参数进行调节,可以优化质谱计的灵敏度并使之达到最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	张涤新		62	468	12.0	17.0
4	张建军		7	88	5.0	7.0