压力传感器用NiCr纳米薄膜

• 作者: 周宏广 周继承 彭银桥 龙思锐
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米薄膜 离子束溅射 压力传感器 稳定性
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.020

摘要

采用离子束溅射纳米薄膜技术和半导体微细加工技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,有效地解决了传统压力传感器中"零点漂移"技术难题,真正实现了在高温、振动等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周继承	中南大学信息科学与工程学院	96	780	15.0	21.0
2	周宏广	中南大学信息科学与工程学院	6	137	4.0	6.0
3	彭银桥	中南大学信息科学与工程学院	4	132	3.0	4.0
4	龙思锐	中南大学信息科学与工程学院	3	117	2.0	3.0