强束流脉冲金属离子束表面改性技术及其应用

• 作者: 杨建华
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 结构 成分 强束流脉冲 表面改性 金属表面
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2138字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2003.01.020

摘要

介绍了强束流脉冲金属离子束技术的基本原理和主要优点,并用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲Ti、Mo、W、Ta、C离子对Cr12、H21、H13钢进行了离子注入材料改性试验.注入剂量为3×1017～5×1017cm-2,引出电压为25～48kV,平均束流为25～50μA/cm2.用卢瑟福背散射谱(RBS)测量了注入样品表面的成分,借助X射线行射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)考察了注入样品的耐磨机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建华	南通工学院基础部	19	52	4.0	7.0