高能量密度脉冲等离子枪在硬质合金刀具上沉积高硬耐磨涂层研究

• 作者: 刘赤子 彭志坚 杨思泽 苗赫濯 齐龙浩
• 来源期刊: 陶瓷科学与艺术
• 学科: 工学
• 关键词: 高能量密度脉冲等离子体 TiN涂层 TiCN涂层 (Ti,Al)N涂层 硬质合金 刀具
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 页码范围: 4-8,22
• 页数: 6页
• 分类号: TF1
• 字数: 3859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7643.2003.05.001

摘要

用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜.在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN薄膜纳米硬度分别可达27 GPa、50 GPa和38 GPa;杨氏模量分别可达450 GPa、550 GPa、650 GPa.纳米划痕实验临界载荷分别达90 mN、110 mN和100 mN以上.切削实验表明,涂层刀具可用于高速切削,刀具后面磨损明显减小.刀具力学性能的改善归因于更优异力学性能涂层的沉积、良好的膜基结合力以及涂层特殊的显微结构.