宽束矩形冷阴极潘宁离子源研究

• 作者: 欧阳礼仁 郑德修
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子源 宽束 矩形 等离子体显示器 潘宁放电
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: O462
• 字数: 2508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.02.014

摘要

根据大面积离子束辅助沉积MgO薄膜的需要,本文研究了具有并行阳极结构的宽束矩形冷阴极潘宁离子源.在简要说明冷阴极潘宁离子源基本原理的基础上,分析了在设计宽束矩形的离子源中主要考虑的问题,并给出初步的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑德修	西安交通大学电子物理与器件研究所	14	95	6.0	9.0
2	欧阳礼仁	西安交通大学电子物理与器件研究所	2	18	2.0	2.0