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钝化多晶线路中电迁移损伤的预测
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摘要：
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电迁移技术在获取核素迁移参数中的应用
电迁移
88Sr
柯尔碱膨润土
流出法
不同钝化剂对重金属在土壤-油菜中迁移的影响
重金属
有效态含量
大田试验
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钝化
应力诱发的电迁移失效分析
热电迁移
电化学迁移
失效机理
电阻
铝金属化
集成电路
互连
多晶硅微机械构件损伤的表面效应
微型机械
多晶硅
抗拉强度
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期刊影响力
光学精密工程
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-924X
CN：
22-1198/TH
开本：
大16开
出版地：
长春市东南湖大路3888号
邮发代号：
12-166
创刊时间：
1959
语种：
chi
出版文献量（篇）
6867
总下载数（次）
10
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98767
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