用显微镜和数字摄像机检测样品表面缺陷

• 作者: LionelR．Baker 汪世祯 陈映梅
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 显微镜 数字摄像机 表面缺陷 光学元件 检测 显微镜图像比较器
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TH74

摘要

按标准化国际机构(ISO)10110—7：1996的判断，在生产光学元件的小公司中为测量表面缺陷而用显微镜图像比较器(MIC)的现行设计成本太高。本文所述为一种在大多数实验室应用的组件化易拆型MIC。此装置的应用通过对两个划痕和麻点缺陷的样品进行检测得以验证。