微机械测量子系统

• 作者: 冯国强 徐国强
• 来源期刊: 中国测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械式变换器 微触点测量
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 30-31
• 页数: 2页
• 分类号: TM93
• 字数: 1982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5124.2003.01.014

摘要

本文主要介绍一种微机械测量子系统,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关.它尤其适用于光滑位移量的测量.例如:象由压力和温度引起的物体变形量,或者在监测物体气密性时,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量.它也可用来监测集成模块的防水性.如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备,它就可应用于机器人系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯国强	空军工程大学工程学院	24	97	6.0	9.0
2	徐国强	空军工程大学工程学院	4	0	0.0	0.0