半导体器件建模与优化系统

• 作者: 姚依 张文俊 李钊 杨之廉 谢晓锋 阮骏 鲁勇
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 响应表面方法 实验设计 遗传算法 微粒群优化
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 327-331
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 2691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.03.018

摘要

随着器件尺寸的缩小,器件特性空间变得越来越复杂.如果仍采用手工参数调整的方法,不仅需要有较好的器件物理知识,而且也不一定能得到合适的结果.为节约设计时间,对半导体器件建模与优化系统(MOSSED)进行了研究与实现.该系统可以对半导体器件进行有效地建模、优化和综合,以得到所需要的器件.通过一些实例对部分功能进行了说明,并和一些已有的系统进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢晓锋	清华大学微电子学研究所	13	985	5.0	13.0
2	张文俊	清华大学微电子学研究所	30	1031	6.0	30.0
3	杨之廉	清华大学微电子学研究所	27	1025	6.0	27.0
4	李钊	清华大学微电子学研究所	16	38	4.0	5.0
5	阮骏	清华大学微电子学研究所	4	45	3.0	4.0
6	姚依	清华大学微电子学研究所	4	26	3.0	4.0
7	鲁勇	清华大学微电子学研究所	10	33	4.0	5.0