基于MEMS的湿度检测仪的研制

• 作者: 张中平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 微电子机械系统 传感器 变送器 气象仪 湿度
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 113-116
• 页数: 4页
• 分类号: P41
• 字数: 1647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.02.003

摘要

所研制的气象仪是一种基于多传感头集成的MEMS系统,可用于测量温湿度、风速、风向和气压的便携式气象检测仪器,同时由于MEMS技术的使用,使得该仪器整体电路简单可靠,而且体积小,携带方便.本文主要介绍湿度检测部分.