栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响

• 作者: 叶超 宁兆元 杜伟 程珊华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子回旋共振放电 CHF3分解 栅网 偏压
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 1802-1807
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4573字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.07.046

摘要

研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积系统中栅网的增加和栅网上施加+60V和-60V偏压对CHF3放电等离子体特性的影响.发现在低微波功率下栅网与偏压对等离子体中基团分布的影响较大,而高微波功率下的影响逐渐减小.这是由于低微波功率下等离子体中电子温度较低,基团的分布同时受栅网鞘电场和电子碰撞分解的共同作用;而高微波功率下电子温度较高,栅网鞘电场的作用减弱,基团分布主要取决于电子碰撞分解作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理系	70	528	12.0	18.0
2	叶超	苏州大学物理系	33	244	10.0	14.0
3	程珊华	苏州大学物理系	30	347	11.0	17.0
4	杜伟	苏州大学物理系	12	16	3.0	3.0