CRT荫罩制造技术及其应用领域的延伸

• 作者: 冯克勤
• 来源期刊: 显示器件技术
• 学科: 工学
• 关键词: CRT 荫罩 制造技术 光刻 精细腐蚀 掩膜板 平板显示
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TN141.3

摘要

CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。应用于制造荫罩的精密光刻、精细腐蚀技术可以引伸应用到平板显示、微电子、微机械等许多领域，使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯克勤		2	0	0.0	0.0