EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究

• 作者: 方澍
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: EM-5009b 激光图形发生器 漏曝 曝光移位 掩膜版 数据格式
• 年，卷（期）: jcdltx,（2）
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TN911.73

摘要

针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题，通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方澍		4	0	0.0	0.0