WO3电致变色薄膜制备过程中光学膜厚测量监控技术的研究

• 作者: 任豪 李筱琳 毕君 罗宇强
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: WO3 电致变色 光学膜厚
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 学位论文
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.05.002

摘要

采用真空电子束蒸发方法制备WO3电致变色薄膜过程中,利用极值法光学膜厚测量技术监控薄膜的光学特性,对不同光学膜厚的WO3薄膜的原始态、着色态和退色态的光谱特性进行了对比分析.测试采用二电极恒电压方法,用分光光度计实时测量透过率的变化.结果证明以ITO玻璃作为比较片,极值法监控薄膜光学膜厚,当反射率达到第一极小值,即透过率达到第一极大值时,WO3薄膜得到最好的综合电致变色特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宇强		20	87	6.0	8.0
2	李筱琳		7	33	4.0	5.0
3	任豪		35	185	8.0	12.0
4	毕君		12	22	2.0	4.0