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化学气相沉积CVD动力学的一种假说
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主办单位：
上海市机械制造工艺研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1008-1690
CN：
31-1768/TG
开本：
16开
出版地：
上海市中兴路960号
邮发代号：
创刊时间：
1979
语种：
chi
出版文献量（篇）
1946
总下载数（次）
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7417
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