开发LSI工业环境的超净化控制系统

• 作者: 孙夫雄 孙涛 庞辉 黄天戍
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超净化控制系统 大规模集成电路 仿人工智能PID控制 LonWork现场总线技术 LonTalk协议
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 2727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2003.04.010

摘要

介绍了一种实现大规模集成电路(LSI)无尘生产环境的超净化控制系统,该系统的现场控制回路采用了先进的仿人工智能PID控制算法,这种算法避免了系统反馈滞后的振荡缺陷,利用LonWorks的网络技术,实现整体净化系统的智能化、可视化控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄天戍	武汉大学电子信息学院	153	1276	20.0	27.0
2	孙涛	武汉大学电子信息学院	45	370	11.0	18.0
3	庞辉	武汉大学电子信息学院	11	139	5.0	11.0
4	孙夫雄	武汉大学电子信息学院	21	125	6.0	10.0