低温多晶硅薄膜晶体管（p—SiTFT）制作新技术

• 作者: 季旭东
• 来源期刊: 光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低温多晶硅 液晶显示 薄膜晶体管 技术制造 p—SiTFT 物理蒸镀-溅射法
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.9

摘要

制作低温多晶硅薄膜晶体管层是制作高性能液晶显示器件技术的一个重要组成部分。本文对制作液晶显示器件的多晶硅薄膜晶体管层工艺及其改进进行了讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季旭东		72	192	7.0	13.0