半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

• 作者: 胡仕新
• 来源期刊: 中国半导体
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体芯片厂 气体检测器 可燃性气体 毒性气体 检测器评估
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 71-76
• 页数: 6页
• 分类号: TN407

摘要

本文除概略介绍气体检测器的种类外，主要对气体检测器的原理和在实际使用中的局限性作一基本归纳叙述。限于篇幅，本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上，提出个人的一点心得与看法，以作为未来设置气体检测器系统时之参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡仕新		2	1	1.0	1.0