脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展

• 作者: 徐业斌 敖育红 王又青 胡少六 龙华
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 超快脉冲激光沉积 双光束脉冲激光沉积 脉冲激光真空弧薄膜制备 薄膜技术
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 453-456,459
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 5133字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.05.004

摘要

脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术.陈述了其原理、特点、研究方法,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧、双光束脉冲激光沉积等最新的PLD薄膜制备技术研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡少六	华中科技大学激光技术国家重点实验室	21	359	10.0	18.0
2	王又青	华中科技大学激光技术国家重点实验室	57	521	12.0	20.0
3	龙华	华中科技大学激光技术国家重点实验室	23	294	9.0	16.0
4	敖育红	华中科技大学激光技术国家重点实验室	5	178	4.0	5.0
5	徐业斌	华中科技大学激光技术国家重点实验室	1	117	1.0	1.0