金属蚀刻技术

• 作者: 杨为正 郭伟民
• 来源期刊: 五金科技
• 关键词: 蚀刻 蚀刻剂 光致抗蚀油墨 侧腐蚀
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TS91
• 语种: 中文

摘要

金属蚀刻技术历史悠久,是一项既古老又新颖、既普通又尖端的技术.随着新技术的发展,新产品的开发,金属蚀刻技术发挥越来越重要的作用.本文较全面地介绍这一技术,深入浅出,实用性强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨为正		5	7	2.0	2.0
2	郭伟民		7	11	3.0	3.0