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一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
光刻胶
214-磺酰氯
生产方法
应用
聚酰亚胺正性光刻胶材料的制备及性能研究综述
聚酰亚胺
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光刻胶
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制备
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压印光刻
对准
阻蚀胶
优化
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 正性光刻胶组成物及由其制成的多层抗蚀材料
来源期刊 网络聚合物材料通讯 学科 工学
关键词 正性光刻胶 组成物 制备 多层抗蚀材料
年,卷(期) 2003,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 11
页数 1页 分类号 TQ437.9
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节点文献
正性光刻胶
组成物
制备
多层抗蚀材料
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网络聚合物材料通讯
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天津市河西区洞庭路29号
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