氮原子离子束源的设计研制与应用

• 作者: 应萱同 沈宏 王培元 王培南 秦宗益
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直流辉光放电 氮离子束 质谱分析
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.55
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.01.012

摘要

本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之比可高达5∶1,大大优于其他的一些离子束源.对这个离子束源的应用作了简单的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王培元		1	0	0.0	0.0
2	沈宏	先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系	1	0	0.0	0.0
3	秦宗益	先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系	1	0	0.0	0.0
4	应萱同	先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系	2	0	0.0	0.0
5	王培南	先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系	1	0	0.0	0.0