微测热辐射计氧化钒薄膜工艺研究

• 作者: 崔敬忠 许旻 贺德衍
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒 薄膜 微测热辐射计 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 419-422
• 页数: 4页
• 分类号: TN21
• 字数: 3209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.06.005

摘要

用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜.利用X射线衍射,X射线光电子谱,原子力显微镜,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试.结果表明,沉积薄膜的电阻温度系数大于1.8%/℃,方块电阻为22±5kΩ/□.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺德衍	兰州大学物理科学技术学院	68	559	13.0	19.0
2	崔敬忠		15	208	8.0	14.0
3	许旻	兰州大学物理科学技术学院	8	81	5.0	8.0