研究和处理DPA不合格的母体

• 作者: 赵和义 郑鹏洲
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 破坏性物理分析 样品不合格 母体的处理
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TN406
• 字数: 3446字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.09.017

摘要

样品的DPA结论为不合格时,样品母体能否使用?正确解决这个问题可使DPA工作为系统可靠性提高发挥更大作用的同时,取得更好的效费比,并为解决好这个问题,进行了认真研究和分析,并辅助以实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵和义		5	17	3.0	4.0
2	郑鹏洲		3	7	1.0	2.0