辅助方法对热丝CVD金刚石生长速率的影响

• 作者: 周灵平 孙心瑗 张刚 李德意 李绍禄 陈本敬
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石多晶球 生长速率 等离子体增强 偏压 热丝化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 393-397
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2003.04.022

摘要

在热丝化学气相沉积金刚石系统中,通过双灯丝间的热阴极放电产生等离子体,对衬底施加正负偏压形成电子促进,比较分析了它们及其组合的各种辅助方法对金刚石生长速率的影响.结果表明,在以丙酮为碳源、灯丝总功率不变的情况下,等离子体可明显增强金刚石的生长,其生长速率约为纯热丝法的三倍;而正偏压对等离子体辅助沉积金刚石不仅没有增强形核作用,而且抑制金刚石的生长;电子促进法可以显著提高金刚石的成核密度,但并不能提高金刚石生长速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周灵平	湖南大学材料科学与工程学院	48	322	11.0	16.0
2	李绍禄	湖南大学材料科学与工程学院	26	292	10.0	16.0
3	李德意	湖南大学材料科学与工程学院	44	411	11.0	19.0
4	张刚	湖南大学材料科学与工程学院	12	338	9.0	12.0
5	孙心瑗	湖南大学材料科学与工程学院	7	81	4.0	7.0
6	陈本敬	湖南大学材料科学与工程学院	3	15	2.0	3.0