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摘要:
叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法.对燃烧分解、化学中和、薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述.指出等离子体净化和脉冲电晕放电是净化有害气体的较好方法.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法
来源期刊 真空电子技术 学科 工学
关键词 半导体 等离子体 有害气体 环境保护
年,卷(期) 2003,(5) 所属期刊栏目 研究与设计
研究方向 页码范围 32-34
页数 3页 分类号 TN405.98+2
字数 2590字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.05.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 黄光周 华南理工大学电子与信息学院 26 189 9.0 13.0
2 于继荣 华南理工大学电子与信息学院 16 84 5.0 8.0
3 马国欣 华南理工大学电子与信息学院 34 223 8.0 13.0
4 杨英杰 华南理工大学电子与信息学院 6 21 2.0 4.0
5 周仲浩 华南理工大学电子与信息学院 1 2 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
半导体
等离子体
有害气体
环境保护
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空电子技术
双月刊
1002-8935
11-2485/TN
大16开
北京749信箱7分箱
1959
chi
出版文献量(篇)
2372
总下载数(次)
7
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导