多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究

• 作者: 李长青 马世宁 黄元林
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 铝质材料 多元多层膜 结合强度 摩擦学
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 3289字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2003.06.002

摘要

在LF6防锈铝的基体上采用多弧离子镀技术沉积了Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN六层多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:多元多层膜表面膜层均匀,未出现龟裂现象;膜与基体之间形成了纳米级厚度的Al3Ti新相层,说明膜与基体间的结合存在化学键合,结合强度良好,划痕临界载荷达79N.显微硬度达HV0.11 911.0,与基体相比,其表面显微硬度提高了近20倍,耐磨性提高了10倍以上,但摩擦因数较高(μ=0.66),粘着对偶件磨损,使对偶件磨损较严重.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马世宁		30	709	10.0	26.0
2	黄元林		3	21	2.0	3.0
3	李长青		2	20	2.0	2.0