LNO薄膜电极的制备及其特性研究

• 作者: 姜国宝 康晓旭 林殷茵 汤庭鳌 王晓光 钟宇 黄维宁
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: LNO 氧化物电极 铁电体
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 317-319
• 页数: 3页
• 分类号: TN386
• 字数: 1504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.03.029

摘要

采用水基化学溶液涂布(water-based coating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜.系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和结构的影响,并进一步分析了产生这些现象的原因.制备的LNO薄膜电阻率为1.77×10-3Ω@cm,且具有良好的形貌.以LNO为独立下电极,制备出了Au(Cr)/PZT/LNO/SiO2结构的铁电电容,通过其电滞回线和漏电特性的测试,可见制备的LNO薄膜可以很好地满足作为铁电电容电极的需要.