微机械可调谐滤波器的研制

• 作者: 任晓敏 吴荣汉 周震 张玮 张瑞康 徐应强 杜云 杨晓红 牛智川 黄永清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械可调谐滤波器 波分复用 分布反馈Bragg反射镜
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 347-350
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.04.003

摘要

利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器.该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓红	中国科学院半导体研究所	33	182	8.0	12.0
2	杜云	中国科学院半导体研究所	21	67	5.0	7.0
3	黄永清		196	987	13.0	18.0
4	任晓敏		189	942	13.0	18.0
5	周震		13	39	3.0	5.0
6	牛智川	中国科学院半导体研究所	45	124	5.0	8.0
7	徐应强	中国科学院半导体研究所	17	50	4.0	6.0
8	张玮	中国科学院半导体研究所	45	185	8.0	11.0
9	吴荣汉		22	159	8.0	12.0
10	张瑞康		6	30	4.0	5.0