激光干涉仪非线性的测量

• 作者: 叶孝佑 徐毅 许婕
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 拍频法布里-珀罗干涉仪 纳米测量 非线性测量
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 271-274
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2003.04.004

摘要

激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5 nm,为了对这样的非线性进行测量, 必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置.文中描述了高精度拍频法布里*.珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验.测量范围大于1.3 μm, 测量不确定度约为2 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	许婕		10	134	8.0	10.0
3	徐毅		15	320	10.0	15.0