表面连续凹凸光栅的高精密金刚石切削加工技术

• 作者: JunAmakoHitoshiNakaoShinichiroOchiai 李浏译
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面连续凹凸光栅 金刚石切削 衍射光学元件 回弹 粗糙度
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 18-26
• 页数: 9页
• 分类号: TH741.6

摘要

报道在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面上用高精密金刚石直接切削加工连续凹凸光栅的工艺技术。根据设计的光栅轮廓和期望光栅表面达到的粗糙度，选择关键工艺参数如金刚石车刀尖端半径和切削步长。给出13个连续扇形相位光栅的实验结果。采用随机设计算法使相位轮廓最佳化。加工的3mm厚PMMA光栅，菲涅耳反射损失未修正时，测得的衍射效率为85％。衍射强度分布对与设计轮廓的任何一种偏差都很敏感，零级衍射强度受到的影响尤为突出。查明补偿材料回弹是保证光栅性能的关键。