用迈克尔逊干涉仪测量纳米级薄膜厚度的研究

• 作者: 王恩实 田晓燕 邓宇
• 来源期刊: 吉林建筑工程学院学报
• 学科: 化学
• 关键词: 纳米膜 纳米技术 纳米材料 迈克尔逊干涉仪
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: O621
• 字数: 2206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0185.2003.04.005

摘要

通过实验,介绍了如何利用波动光学原理和迈克尔逊干涉仪测量纳米膜厚度,为纳米技术和纳米材料的研究打开了新思路,提供了新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宇	吉林建筑工程学院基础科学系	17	20	3.0	4.0
2	王恩实	吉林建筑工程学院基础科学系	11	18	3.0	3.0
3	田晓燕	吉林建筑工程学院环境工程系	13	71	5.0	8.0