半导体基片表面微小高温区域的红外测温系统

• 作者: 叶玉堂 吴云峰 杨先明 焦世龙 秦宇伟 范超
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 红外测温系统 激光焦斑 自动测量
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 32-35,42
• 页数: 5页
• 分类号: TH811.2|TN305.7
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2003.06.010

摘要

利用红外辐射测温原理,设计成半导体基片上激光焦斑温度不接触测量系统.该系统由透镜成像系统、探测器、精密电动平台及相关电路和软件组成,其测温范围大,温度分辨力可达0.2K,还可得到温度-时间关系曲线;可自动测量热斑的温度分布及寻找热斑的最高温度区域;测量区域的最小直径为18μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	焦世龙	电子科技大学光电信息学院	16	90	6.0	8.0
4	杨先明	电子科技大学光电信息学院	16	114	7.0	10.0
5	秦宇伟	电子科技大学光电信息学院	9	30	3.0	5.0
6	范超	电子科技大学光电信息学院	21	102	7.0	8.0