Sol-Gel法制备SiO2膜的研究进展

• 作者: 郭文淼 金珊
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: Sol-Gel法 SiO2膜 膜制备 正硅酸乙脂
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 525-528
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0935.2003.12.007

摘要

叙述了Sol-Gel法制备SiO2膜的原理以及工艺;举例说明了近些年来SiO2膜的制备进展,讨论了SiO2膜制备过程的影响因素;进而指出了采用Sol-Gel制备SiO2膜存在的问题.为SiO2膜的制备提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金珊		26	106	6.0	7.0
2	郭文淼		11	33	4.0	5.0