六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究

• 作者: 于国飞 何惠阳 宋文荣 王延风 田兴志
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 磁悬浮 x-y工件台 定位精度 步进扫描 逐场调平调焦
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 15-21
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5862字
• 语种: 中文

摘要

设计了"H"型六维x-y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦.计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差,理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求.将应用于特征尺寸0.18μm线宽激光光刻机上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田兴志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	226	7.0	13.0
2	宋文荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	285	10.0	13.0
3	于国飞	吉林大学机械科学与工程学院	12	243	8.0	12.0
4	王延风	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	310	12.0	16.0
5	何惠阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	469	12.0	21.0