超声波清洗技术在等离子体显示器件基板上的应用

• 作者: 赵志明
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波 等离子体显示器件 清洗
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 66-67
• 页数: 2页
• 分类号: TN141.5
• 字数: 1382字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.02.017

摘要

通过对超声波清洗技术的理论分析以及实际工艺操作结果分析,与以往传统的清洗方式做一比较,说明了在清除微细污染物方面,超声波清洗技术在等离子体显示器件障壁基板清洗方面的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵志明	西安交通大学电信学院	8	20	2.0	4.0