双光子三维微细加工技术及实验系统的开发

• 作者: 刘允萍 夏安东 祝安定 蒋中伟 袁大军 褚家如 黄文浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 234-238
• 页数: 5页
• 分类号: TG665
• 字数: 3577字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.03.004

摘要

介绍了一种新型的三维微细加工技术,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统.双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发,通过逐点扫描,实现微器件的三维成型.由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件,对此进行了详细的说明.最后,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果.