开放式多功能扫描探针显微镜系统

• 作者: 万立骏 吴浚泓 吴浚瀚 商广义 杨德亮 牟涛 白春礼 袁伟华 黄桂珍
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 开放式 多功能 纳米科技
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米测量技术与仪器(第一届全国纳米测量技术会议论文之一)
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN16
• 字数: 2537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2003.02.013

摘要

开放式多功能扫描探针显微镜、集成扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜和静电力显微镜,具有接触、半接触和非接触工作模式,可进行作用力、电流、电位、光能量等参数的高度局域综合测量,具有极高的开放性和可扩展性,支持用户进行二次开发.