椭偏法测光栅参数的可行性理论研究

• 作者: 傅克祥 卢向东 王植恒 麻建勇
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏测量术 正弦形光栅 正单纯形法
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 激光物理
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: O43
• 字数: 2733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2003.01.011

摘要

提出一种新的光栅测试方法--利用椭偏仪测量光栅的基本参数,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程.首先假设一种光栅模型,计算出不同入射角的椭偏参数(Δ,Ψ),然后加入偏差量不同的高斯噪声,把加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值,采用正单纯形法进行求解.验证得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值.反演结果表明,在扩大搜索范围时,仍可以在一定精度范围内得到准确解,这就在理论上验证了用椭偏仪测试光栅参数的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王植恒	四川大学物理科学与技术学院	28	285	10.0	16.0
2	傅克祥	四川大学物理科学与技术学院	40	211	8.0	12.0
3	卢向东	四川大学物理科学与技术学院	5	35	3.0	5.0
4	麻建勇	四川大学物理科学与技术学院	1	13	1.0	1.0