微型光谱仪的发展

• 作者: 吴一辉 鞠挥
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型光谱仪 微机电系统 微光学 微制造技术
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 30-37
• 页数: 8页
• 分类号: TP212|TH744.1
• 字数: 6257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.01.008

摘要

随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向.本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	126	1121	18.0	27.0
2	鞠挥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	256	4.0	9.0