双电测组合法测试半导体电阻率的研究

• 作者: 宿昌厚 鲁效明
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双电测组合四探针法 方块电阻 电阻率
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 298-306
• 页数: 9页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 4718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.03.013

摘要

对双电测组合四探针法测试方块电阻(Rs)和体电阻率(ρ)进行了研究,从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点:测量结果与探针间距无关,可使用不等距探针头;具有自动修正边界影响的功能,不必寻找修正因子;不移动探针头即可得知均匀性.推导出用于体电阻率时的厚度函数.论述了Rs、ρ、大小样片及边界附近的测试原理,给出了Rs和ρ的计算公式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宿昌厚	北京工业大学电子信息与控制工程学院	3	58	2.0	3.0
2	鲁效明	中国计量科学研究院集成电路室	4	67	3.0	4.0