硅压力传感器的非线性分析及优化设计

• 作者: 丁德宏 付世 吕品 姚朋军 张宏庆 沈桂芬 范军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 非线性 线性度 内补偿
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4168字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.01.010

摘要

分析了硅压力传感器的线性与非线性,讨论了非线性产生的原因,并提出了硅压力传感器的优化设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈桂芬	辽宁大学物理系	15	136	6.0	11.0
2	付世	辽宁大学物理系	8	47	5.0	6.0
3	丁德宏	辽宁大学物理系	7	47	5.0	6.0
4	姚朋军	辽宁大学物理系	10	109	6.0	10.0
5	张宏庆	辽宁大学物理系	8	57	4.0	7.0
6	范军	辽宁大学物理系	8	57	4.0	7.0
7	吕品	辽宁大学物理系	24	113	6.0	10.0