高温超导双晶结垫圈型dc SQUID磁强计的研制

• 作者: 漆汉宏 王天生 田永君 郑东宁
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 双晶结 dc SQUID 磁强计
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 333-336
• 页数: 4页
• 分类号: TM26|TN103|O511
• 字数: 4242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2003.04.002

摘要

采用脉冲激光沉积法(PLD)在10x10 mm2的SrTiO3双晶基片上制备了纯c取向的高温超导YBCO薄膜,薄膜表面平整,杂相颗粒少,在20 μm尺度范围内,起伏在几个nm之内.通过标准光刻和离子束刻蚀工艺制备出了高温超导垫圈型双晶结dc SQUID磁强计.测试结果表明:磁强计有效面积达0.09 mm2,在没有超导屏蔽的环境下,磁强计白噪声区磁场噪声达到333 fT/Hz1/2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	漆汉宏	燕山大学亚稳材料制备技术与科学重点实验室	48	420	10.0	19.0
3	王天生	燕山大学亚稳材料制备技术与科学重点实验室	31	241	9.0	14.0
4	田永君	燕山大学亚稳材料制备技术与科学重点实验室	33	164	7.0	11.0
7	郑东宁	中科院物理所超导国家重点实验室	4	22	3.0	4.0